太赫兹(THz)量子级联激光器作为一种重要的THz辐射源，由于其体积小、易集成以及可连续发射等优点而备受国际学术界的关注。首个太赫兹量子级联激光器由意大利和英国的学者合作研制成功，发表在2002年的Nature杂志上。中科院上海微系统与信息技术研究所信息功能材料国家重点实验室于2007年3月设计并利用本实验室的分子束外延(MBE)设备成功生长了太赫兹量子级联激光器异质结构材料，采用该材料在国外实验室流片成功制作了太赫兹量子级联激光器。该激光器辐射频率为3.4THz，工作温度大于100K。