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IBM托马斯·J·沃森研究中心Qinghuang Lin博士访问半导体所
  文章来源:半导体研究所 发布时间:2011-04-25 【字号: 小  中  大   

应中科院半导体研究所集成技术中心主任杨富华研究员邀请,4月25日上午,美国IBM Thomas J. Watson研究中心的Qinghuang Lin教授来半导体所进行学术交流,并在“黄昆半导体科学技术论坛”上作第141期报告。

Qinghuang Lin博士作了题为Patternable Low-κ Dielectric Materials for “Greener” Semiconductor Manufacturing的学术报告,系统地介绍了在集成电路芯片上的多层铜互连工艺的发展,对能够固化的一种图形化的光刻胶(PPLK)应用于铜互连的新工艺进行了精辟的阐述,发表了自己独到的见解,并与在座的30余名博士和硕士研究生进行了热烈的讨论和交流,使大家受益匪浅。

此外,半导体所集成技术中心的研发人员季安研究员、韩伟华研究员、王晓东研究员等与Qinghuang Lin博士进行了座谈,大家希望双方能进一步加强合作,不断促进半导体所与IBM公司的友好合作关系。

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