应宋志棠研究员邀请，3月18日，中国科学院外国专家特聘研究员、美国克拉克森大学先进材料处理中心主任、化学机械抛光权威科学家S.V Babu教授前来上海微系统与信息技术研究所进行学术访问。

在上海微系统所所长助理俞跃辉、宋志棠研究员等人的陪同下，Babu教授先后参观了所史陈列室、纳米技术研究室。随后，S.V.Babu教授作了题为Tunable RR Selectivities of Oxide, Nitride and Polysilicon during CMP的学术报告，上海微系统所的部分科研人员和研究生聆听了Babu的报告，并就抛光液产业化和学术研究中碰到的各种问题与教授进行了深入的交流。

Babu教授的此次访问只是一个开端，作为“外国专家特聘研究员”，Babu教授将对微系统所抛光液项目的研究、研究生的培养给予更多帮助和支持。此次访问将会进一步加快微系统所与抛光液领域权威机构的合作，有望对纳米抛光液产业化起到重要的推动作用。

S.V Babu教授与抛光液科研人员友好交流

所长助理俞跃辉向S.V Babu教授介绍上海微系统所