今年12月13至15日，在旧金山Hilton酒店召开了每年一度的著名学术会议IEDM 2004。IEDM始于1955年，会议创办时还没有成立IEEE组织。今年也是IEDM的50周年庆典。50年来，IEDM见证了人类从电子管到晶体管一直到超大规模集成电路和纳电子器件的半个世纪发展历史。一篇上海微系统与信息技术所独立完成的有关“Trench-sidewall MEMS technology”的研究成果论文于今年获得会议接收，并于日前由李昕欣研究员代表论文的7名作者在大会上宣读。由于在50年的历史中我国极少有论文能够获得发表，在本论文之前我国大陆作为第一单位的工作已经有十几年没能获得会议论文接收。