3月15日上午，应半导体功能薄膜工程技术研究中心的邀请，清华大学材料学院柳百新院士来所作了题为“Thermodynamic and Atomistic Modeling of Crystal-to-Amorphous Transition in Nano-Sized Metal-Metal Multilayers”的报告。微系统所的柳襄怀研究员、李爱珍研究员、李欣心研究员、以及华东师范大学的李琼教授、徐静芳教授等都参加了报告会。下午，“973”专题“新型功能薄膜材料的离子束制备”项目负责人冯涛向柳百新院士汇报了2002-2003年度的工作进展，并讨论了未来两年的工作计划。