由苏州纳米所印刷电子学研究部主任崔铮研究员撰写的《微纳米加工技术及其应用》（第三版）近日由高教出版社出版发行。这是崔铮研究员自2005年以来撰写出版的有关微纳米加工技术的系列专著的最新一本。在此之前，除了中文版第一版、第二版之外，还有英文版《Micro-Nanofabrication Technologies and Applications》（Springer， 2006），以及专门介绍纳米加工技术的英文专著《Nanofabrication, Principles, Capabilities and Limits》（Springer, 2008）。
该书集作者多年来的实践经验与研究成果，并结合近年来国际上的最新发展，综合介绍了微纳米加工技术的基础，包括光学曝光技术，电子束曝光技术，聚焦离子束加工技术，扫描探针加工技术，微纳米尺度的复制技术，各种沉积法与刻蚀法图形转移技术，间接纳米加工技术与自组装纳米加工技术。
崔铮研究员长期关注研究微纳米加工技术的发展，对各种加工方法有深入理解并有多年的亲身实践经验。从2005年以来，不但出版中文专著，而且每两年一次在中科院物理研究所举办的微纳米加工技术讲习班上担任主讲。通过出版专著，办讲习班以及应邀在国内大学与科研机构讲学等途径，崔铮研究员为在中国普及推广微纳米加工技术做出了重要贡献。《微纳米加工技术及其应用》一书接连再版，说明了国内科研与工程技术人员对该书的普遍认可，也反映了微纳米加工技术在国内的广泛应用。相信《微纳米加工技术及其应用》（第三版）的出版将满足国内广大科技工作者与工程技术人员学习微纳米加工技术的需求，进一步推动微纳米加工技术的普及应用。
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